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1.腔室清洁终点精确控制的重要性与挑战薄膜沉积(如CVD/ALD)、光刻和刻蚀是半导体制造的三大核心工艺,其中薄膜沉积作为基础环节,负责金属、介质及半导体薄膜的制备。为确保薄膜沉积工艺的稳定性,需定期使用NF₃对腔室进行清洁,以去除积聚的聚合物材料。精确控制清洁终点至关重要:l清洁不足:残留沉积物会形成颗粒污染,导致产品良率下降l过度清洁:增加NF₃消耗、延长设备停机时间并缩短腔室寿命。传统方法依赖经验时间控制清洁终点,但最佳清洁时间受多变量影响(如沉积厚度、温度、压力、气体...
12-18
磨煤机内部CO气体的分布是均匀的,而温度的分布是不均匀的,CO气体的浓度变化比温度更能真实、全面反应磨煤机内部的燃烧情况。事实上CO气体浓度的增加往往发生在可视烟火前的1.5h左右,因此在局部温度开始发生明显变化之前,磨煤机的CO气体浓度监测是防止磨煤机着火或爆炸的有效手段。《DLT5203-2005火力发电厂煤和制粉系统防爆设计技术规程》要求:燃烧爆炸感度和挥发分较高的烟煤和褐煤采用中速磨或双进双出磨煤机直吹式制粉系统时,宜设置磨煤机CO气体浓度监测设备——CO气体分析仪。...
12-18
“十二五”期间,国家发展改革委会同农业部累计安排中央预算内投资142亿元用于农村沼气建设,并不断优化投资结构。根据农村沼气发展面临的新形势,日前国家发改委调整中央投资方向,发布了《全国农村沼气发展“十三五”规划》,并提出到2020年国家沼气总产量要达到207亿立方米,其中重点用于支持规模化大型沼气工程和生物天然气工程试点项目建设,这两项工程总投资超过了“十三五”农村沼气工程总投资的60%,农村沼气也迈出了转型升级的新步伐。截至目前,我国沼气总产量158亿立方米,这意味着未来5...
7-20
在实际应用中,业主一般会采用诸如红外沼气分析仪之类的沼气成分监测设备以检测厌氧发酵产生的沼气含量,但往往实际监测的沼气浓度与理论计算得出的数值有一定的出入。一般在厌氧条件下,每降解1kgCOD约产生2%~8%的厌氧污泥(即微生物对营养物质进行同化后残留的物质),而能量的传递效率是能量在沿食物链流动的过程中,逐级递减。若以营养级为单位,能量在相邻的两个营养级之间传递效率为10%~20%。微生物由于其生物形态结构简约,传递效率要稍高于多细胞生物为20%~30%,若以其传递效率25...
7-11
沼气工程作为畜禽废弃物资源化利用的能源环境工程,其沼气发电环节是较为常见的资源化利用模式,通过开展纯沼气发电利用,既能让养猪场提高自身的经济效益,又可缓解电力紧缺的矛盾,还能解决养猪场多余沼气利用等问题,是一举多得的好事情。然而在沼气发电环节除了需要*的沼气发电机组及相关的沼气成分监测设备如Gasboard-3200,用于监测沼气浓度是否满足发电条件外,还有一些发电条件需要尤其注意。在此,笔者对养猪场纯沼气发电的*条件进行一些简要分析,以供相关人员借鉴。养猪场开展纯沼气发电必...
7-7
近日在湖南某沼气工程现场,工作人员惊奇地发现:仅通过厌氧发酵工艺,竟然直接制取出了CH4浓度高达94%的生物天然气!*,一般沼气生产生物天然气要经过净化和提纯两个步骤,才可得到高甲烷浓度的生物天然气,以用作管道燃气、热电联供、生产压缩天然气和罐装燃气等。而该沼气工程项目并没有复杂的净化、提纯过程,就制出了CH4浓度高达94%的生物天然气,让人匪夷所思!发酵罐据了解,该项目厌氧发酵罐规模为800m3,其发酵原料主要来源于种猪养殖场的粪便与尿液,项目数据监测则采用武汉四方光电子公...
7-7
沼气发酵是整个沼气工程的核心,对沼气生产效率和工程经济具有决定性的影响。因此必须对沼气发酵过程进行有效的监测,一般可以选择一些沼气成分监测设备,如沼气分析仪Gasboard-3200,用户可根据沼气中甲烷、二氧化碳、硫化氢、氧气等成分对沼气发酵的工艺过程进行调控,可以有效提高沼气产气量。一、钢板焊接结构沼气发酵罐1)沼气发酵罐的设计压力通常取常压或接近常压,负压不应小于0.49kPa。3)厚度附加量应考虑钢板负偏差和腐蚀余量。钢板焊接发酵罐多采用立式圆筒形,其结构设计zui主...
7-7
从20世纪80年代以来,国内工程公司、研究院、设计院和高等院校等通过对引进国外煤气化技术的消化、吸收和工程实践,进行了一系列的自主创新,开发出多达十几种具有自主知识产权的先进洁净煤气化技术,其中除碎煤加压气化、YM炉是固定床气化技术,ICC灰熔聚气化是流化床气化技术之外,其余均为气流床加压气化技术。关于“中国制造”煤气化技术(含在建)及工艺锐意自控汇总如下:我国自主开发并工业化应用(含在建)的洁净煤气化技术国内自主开发煤气化技术的工艺比较国内自主开发的气流床气化技术除上述7种...
6-22
沼气是有机物在厌氧和一定的温度、湿度、酸碱度和密封等条件下,经过多种微生物分解发酵产生的一种可燃气体。它是一种混合气体,主要成分是甲烷和二氧化碳,其余为一氧化碳、氢气、氮气和硫化氢。在沼气工程运行过程中,一般通过进出料COD、产气量、pH、脂肪酸等几项工艺运行参数,可以推测发酵装置内微生物生长代谢情况,从而将运行工况调整到*状态。因此,宜对温度、产气量、COD、pH、挥发酸、总碱度和沼气成分等指标进行监测,掌握沼气发酵装置运行工况,并根据监测数据及时调整或采取相应措施。如果出...
6-22
工业仪表的腐蚀严重影响其自身的正常运行,给化工企业生产运作带来了众多不便。本文提出的建议希望能帮助化工企业更好的解决化工仪表的腐蚀问题。一、化工仪表的主要腐蚀类型1.电化学腐蚀电化学腐蚀是指金属材料与电解质溶液结合时,发生原电池反应,比较活泼的金属失去电子而被氧化。大多数金属的破坏都是由电化学腐蚀造成的,比如钢铁在潮湿的空气中比在干燥的空气中腐蚀的快,因为潮湿的空气在钢铁表面形成了电解质溶液,它跟钢铁里的铁和碳形成了原电池,铁失去了电子就被氧化了。电化学腐蚀是化工生产中zui...
6-22
“十三五”开局以来,国内逐步开始了燃煤电厂超低排放改造的战略布局,随着超低排放改造的实施,烟气水分含量增大,烟气特性发生了较大改变,对烟气成分监测的性提出了更高要求。因此,分析对比各种烟气监测技术的性能特点与实用价值,提出适用于超低排放改造的在线烟气成分监测技术,为燃煤电厂烟气监测系统的选型提供参考,对“十三五”燃煤电厂超低排放改造具有重要的指导意义。据《煤电节能减排升级与改造行动计划(2014-2020年)》改造后烟气中二氧化硫、氮氧化物排放的限值执行标准分别为35mg/m...