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半导体行业薄膜沉积设备腔室清洁终点检测解决方案

1.腔室清洁终点精确控制的重要性与挑战薄膜沉积(如CVD/ALD)、光刻和刻蚀是半导体制造的三大核心工艺,其中薄膜沉积作为基础环节,负责金属、介质及半导体薄膜的制备。为确保薄膜沉积工艺的稳定性,需定期使用NF₃对腔室进行清洁,以去除积聚的聚合物材料。精确控制清洁终点至关重要:l清洁不足:残留沉积物会形成颗粒污染,导致产品良率下降l过度清洁:增加NF₃消耗、延长设备停机时间并缩短腔室寿命。传统方法依赖经验时间控制清洁终点,但最佳清洁时间受多变量影响(如沉积厚度、温度、压力、气体...

  • 2019

    8-5

    导语:钢铁冶炼是高耗能重污染行业,而烧结烟气又是钢铁企业主要排放的大气污染物,它约占整个钢铁企业排放总量的50%以上。随着国家环保排放标准的不断收紧和“十三五”期间实行污染物总量控制政策的影响,对烧结烟气的治理将成为钢铁企业的重点工作。一、烧结烟气治理的行业背景2018年5月,生态环境部发布了《钢铁企业超低排放改造工作方案》(征求意见稿),对国内钢铁企业的大气污染治理提出更为严格的标准。其中重新规划了对烧结烟气污染物的排放限制规定,将烧结机头烟气、球团焙烧烟气颗粒物、二氧化硫...

  • 2019

    5-16

    随着钢铁产量的增长,钢铁工业能耗占全国总能耗的比重越来越高。加热炉是轧钢厂的主要耗能设备之一,其能耗占轧钢工序能耗的60~70%,能耗水平直接影响轧钢生产成本,因此降低加热炉能耗是轧钢节能的主要方向和目标。我国冶金行业轧钢加热炉几千余座,包括今年新建或改造的蓄热式加热炉,在运行、使用过程或多或少地存在问题,其能耗水平相差很大,有的加热炉单耗高达70~80kg/t,节能潜力十分巨大。因此,提高轧钢加热炉的能耗水平对钢铁企业的节能有着重要意义。一、轧钢加热炉的热平衡分析燃料在锅炉...

  • 2019

    4-26

    随着焦化行业的发展,焦炉煤气除部分返回焦炉加热外,剩余主要作为城市煤气,还有相当数量的焦炉煤气会通过火炬燃烧放空。据估计每年约有350×108m3以上的焦炉煤气未被有效利用而付之一炬,这不仅造成环境污染,还浪费了大量能源。根据焦炉煤气的特点(含氢量高),我国焦化行业应进一步开发出符合企业特点的应用技术,进而实现煤气资源的优化开发利用,增加焦炉煤气的利用价值,增强炼焦行业的整体竞争力。近年来,我国焦炉煤气利用程度不断提高,在开发利用技术方面进行了一系列探索,本文总结出七种常用的...

  • 2019

    2-19

    加热炉的是冶金行业的关键设备之一,加热炉性能的好坏直接影响到产品质量的好坏,而加热炉燃料是影响加热炉性能的重要因素,因此根据生产需求合理控制、及时调整加热炉燃料热值、压力、成份、流量等参数是提高加热炉效率的有效措施。随着河北省实施《炼焦化学工业大气污染物超低排放标准》和《钢铁工业大气污染物超低排放标准》,国家环保进入了严阶段,钢铁热处理领域也面临了严厉挑战。越来越多的焦炉被关停,焦炉煤气正成为稀缺资源,没有焦炉煤气混合的高炉或转炉煤气热值较低,很难安全燃烧,一直未能在高品质热...

  • 2019

    1-31

    一、什么是“国六”汽车排放标准?“国家第六阶段机动车污染物排放标准”包括《轻型汽车污染物排放限值及测量方法(*六阶段)》(GB18352.6-2016)和《重型柴油车污染物排放限值及测量方法(*六阶段)》(GB17691-2018)两部分,是为贯彻《中华人民共和国环境保护法》《中华人民共和国大气污染防治法》,防治压燃式及气体燃料点燃式发动机汽车排气对环境的污染,保护生态环境,保障人体健康制定。二、新标何时在全国范围内实施?轻型车“国六”汽车排放标准与重型柴油车“国六”汽车排放...

  • 2019

    1-31

    目前,我国畜禽养殖规模化率达到54%,畜禽粪污年产生量约38亿吨,已经成为农业面源污染的主要来源。推进畜禽养殖废弃物处理和资源化利用已成为国家重点关注的环保与民生问题。2017年,国家发展改革委会、农业农村部联合发布《全国畜禽粪污资源化利用整县推进项目工作方案(2018-2020年)》(下称《方案》),2018年,农业农村部、财政部联合发布《关于做好2018年畜禽粪污资源化利用项目实施工作的通知》(下称《通知》),分别明确了政策实施要求、项目实施方案及相关补贴标准,随着推进政...

  • 2019

    1-31

    一、低氮燃烧的必要性减少NOx排放是改善环境空气质量的需要近年来的监测数据表明,典型特征污染物PM2.5出现较大超标比例和区域性长时间严重超标情况,改善环境空气质量面临巨大挑战。国内外研究和治理经验表明,控制区域性PM2.5污染是一项难度非常大的系统工程,必须在综合分析基础上,提出有针对性的控制对策,才能有效缓解区域PM2.5污染。PM2.5包括一次排放和二次生成粒子两部分,以北京为例,二次粒子比例较高,特别是重污染时段PM2.5中二次粒子比例较常规时段明显增加。有观测数据表...

  • 2019

    1-26

    近年来,随着我国天然气资源利用技术的不断发展,“煤改气”工程建设的加快推进,为天然气锅炉的推广提供了能源支持,小型锅炉作为我国燃气锅炉使用的主要方向,已广泛应用于城市洗浴、酒店、中小型企业及事业单位内部。但目前我国小型天然气锅炉的设计尚存在一定问题,如一些部门存在着对锅炉结构、热力参数选取以及计算过程的不规范性,使天然气锅炉在设计或改造上没有做到良好的优化,运行上无法保证锅炉处于大效率,造成了原材料及天然气能源的浪费。此外,为加快推进集中供热、“煤改气”、“煤改电”工程建设,...

  • 2019

    1-26

    要解决沼气发电机组尾气排放执行标准的争议性问题,首先我们要明确沼气发电机组的工作原理?由于沼气发电项目兼具社会效益与经济效益,利用沼气发电机组发电并网,一般采用单机功率较小的往复式燃气内燃机组发电技术,通过沼气在气缸内燃烧,带动活塞运动,产生动力,再带动发电机运转发电。该技术具有如下特点:①单位千瓦建站投资少,2500~3500元/kW;率高:45%~80%;运行成本低:0.1~0.12元/kWh。②燃气内燃机机组配套设备简单,电站可移动性强。③机组单机功率范围:4kW~20...

  • 2019

    1-26

    所谓提高燃烧效率,就是要适量的天然气与适量的空气组成合适比例进行燃烧。因为空气中有79%的N2,这些N2不参加燃烧,但在燃烧过程中被加热,吸取能量后从烟道中被排到大气中去。即为了使空气中20.9%的O2参与燃烧,必须要加热比O2多将近4倍的N2,然后将其放掉。这些能量的损耗是不可避免的,但却可以减到低的程度。如果能在保证天然气充分燃耗的前提下尽可能的减少空气的输入量,则这种形式的损耗将减至低。但空气量的减少必须保证天然气充分燃烧的前提下,否则由于天然气未充分燃烧的能量损失也是...

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