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1.腔室清洁终点精确控制的重要性与挑战薄膜沉积(如CVD/ALD)、光刻和刻蚀是半导体制造的三大核心工艺,其中薄膜沉积作为基础环节,负责金属、介质及半导体薄膜的制备。为确保薄膜沉积工艺的稳定性,需定期使用NF₃对腔室进行清洁,以去除积聚的聚合物材料。精确控制清洁终点至关重要:l清洁不足:残留沉积物会形成颗粒污染,导致产品良率下降l过度清洁:增加NF₃消耗、延长设备停机时间并缩短腔室寿命。传统方法依赖经验时间控制清洁终点,但最佳清洁时间受多变量影响(如沉积厚度、温度、压力、气体...
10-24
本文重点介绍了转炉煤气干法除尘技术的应用现状,应用过程中存在的问题以及应用措施。通过对转炉煤气发生泄爆的工艺机制研究,优化蒸发冷却塔的设计,从而提高煤气、蒸汽回收效率,实现利用能源,节能减排的目的。转炉煤气的除尘技术可以分成干法和湿法两种,其中,炉煤气干法除尘技术的应用,能够有效地提高能源转换效率、达到节约新水、节能减排的目的。同时,它能够极大地降低水资源的消耗,减少煤气的排放,并对蒸汽进行回收再利用,是现代实现能源转换的关键技术。所以,在转炉煤气除尘过程中应用越来越广泛。在...
10-24
在转炉吹炼的过程中会产生大量的一氧化碳气体和氧化铁粉尘,而CO的含量基本接近于90%,热值比较高,因而转炉煤气的回收利用越来越得到重视。煤气回收条件在进行转炉煤气时前提条件是要具备相应的回收条件,这样才能使用在线气体分析系统确保煤气回收的质量。因此在煤气回收的过程一氧化碳的在煤气中的含量要大于30%,氧气的含量要小于1%,在这样的条件下才能进行有效、安全的回收,所以在煤气回收之前进行必要的气体含量检测。相反在回收之前检测到的煤气一氧化碳含量小于30%,氧气含量大于1%这种条件...
10-24
转炉在线气体分析系统一般安装在ID风机后,该设备在使用过程中一旦出现故障,将影响到转炉煤气能否回收,直接左右转炉负能炼钢指标,影响炼钢的成本。但在线气体分析系统在使用过程中却又不可避免的会出现各类问题,所以解决这些出现的问题则显得必要而迫切。1在线气体分析系统的功能转炉冶炼产生的烟气中含CO,CO2,O2等成分,通过在线气体分析系统对烟气中的CO、CO2、O2等含量进行分析,再选择CO含量、O2含量合格的烟气进行回收利用,将大大降低炼钢的成本。在线气体分析系统一般由预处理采样...
10-23
在转炉的过程中吹炼会产生大量的CO气体和氧化铁粉尘,而CO的含量基本接近于90%,热值比较高。当今人们对转炉煤气回收利用越来越重视,且转炉煤气回收技术也在不断发展和提高。采用先进的转炉煤气成分分析系统更利于煤气回收,近年来红外技术的应用,在实际应用中也具有一定的安全性和可靠性。红外煤气成分及热值分析仪Gasboard-3100在转炉煤气回收中的应用红外煤气成分及热值分析仪Gasboard-3100在风机前安装煤气成分分析系统,以便在进行转炉煤气回收的过程中,监测煤气管道中的C...
10-23
煤气在线分析仪在煤气化行业气体监测我国是以煤炭为主要一次能源的国家,一次能源消费中煤炭的占比达到62%。但我国的煤炭利用技术总体上是落后的,在煤炭的转化利用过程中普遍存在效率低、污染严重等问题。随着能源问题的日益突出,洁净煤技术越来越多地应用于实际生产过程中,其中大规模煤气化、煤气化多联产技术成为了煤炭综合应用的主要方向之一。近年来红外煤气分析仪越来越多地应用于实际煤气化煤气分析当中,本文将结合煤气分析仪Gasboard-3100在不同领域的实际应用,帮助大家更好的了解煤气分...
10-23
焦炉煤气在进入静电除尘设备之前,需要分析焦炉煤气含氧量,因为静电除尘设备中的焦炉煤气含氧量达到一定程度时会引发爆炸事故,从而损坏设备和造成人身伤害,所以对焦炉煤气中的含氧量分析及监控极为重要。笔者将就煤气分析系统在静电除尘工艺中的应用进行探讨。1.煤气静电除尘技术煤气除尘技术在我国已经较为成熟,其方法也多样,本文主要探讨的是煤气静电除尘。其工艺原理为:含有粉尘颗粒的气体,在接有高压直流电源的阴极线(又称电晕极)和接地的阳极板之间所形成的高压电场通过时,由于阴极发生电晕放电、气...
10-23
某公司生产规模庞大,具备设备煤车间、炼焦车间、化产车间、固定资产4.79亿元。主要产品是国家二级冶金焦炭、煤焦油、粗苯和外供煤气,已形成年产二级冶金焦88万吨、煤焦油4.65万吨、粗苯1万吨、年外供焦炉煤气1.4亿立方米的生产规模。一、干法熄焦技术介绍1、技术原理干法熄焦是目前国外较广泛应用的一项节能技术,是利用冷的惰性气体(燃烧后的废气),在干熄炉中与赤热红焦换热从而冷却红焦。吸收了红焦热量的惰性气体将热量传给干熄焦锅炉产生蒸汽,被冷却的惰性气体再有循环风机鼓入干熄炉冷却红...
10-23
加热炉是轧钢生产线中的关键设备,要使其氧化烧损率低,加热工序能耗低,就必须对加热炉进行燃烧控制。而加热炉燃气介质的热值,则是直接关系加热质量及工序消耗的重要参数。现以锐意自控的宽厚板生产线加热炉为例,其加热炉使用的燃料为高炉煤气、焦炉煤气及转炉煤气的混合煤气,存在煤气成分及热值波动较大、较频繁的情况,而且无准确的热值参数等问题,给加热炉燃烧控制带来很大的困难,直接影响板坯加热质量及氧化烧损率,导致煤气消耗指标居高不下。因此,加热炉燃气介质的热值是直接关系加热质量及工序消耗的重...
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在我国现阶段,火力发电仍然占据着电力发展的重要位置。火电厂主要通过锅炉燃烧产生电力,在提高燃料转换电能的过程中,污染物和温室气体的排放不可避免,随着国家对环境污染采取的一系列控制标准政策出台,火电厂在优化锅炉燃烧效率的同时,也需要利用微流低量程红外气体传感器监测锅炉排放的烟气,降低污染物和气体的排放,减少锅炉燃烧中所带来的环境危害。一、火电厂锅炉燃烧优化的意义和关键锅炉是火电运行中的为重要的设备之一,其燃烧性能的优劣直接影响到锅炉的运行效率,从而影响到整个发电效率。研究锅炉的...
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沼气是一种可再生的清洁能源,是由有机质如人、牲畜、家禽的粪便和秸秆、杂草、秕壳等在适宜的温度、水分、湿度下形成厌氧环境,经过微生物的生长发育、繁殖代谢作用产生甲烷和二氧化碳、水蒸汽、硫化氢、一氧化碳、氮气等可燃烧性的混合气体,沼气发酵就是厌氧消化或厌氧发酵的过程。沼气监测系统在其中所起的作用不容忽视。在实际运行过程中,沼气的发酵过程常常达不到预期的效果,会出现供气不足、时断时续、长期不产气等现象,为确保沼气工程正常产气,以下将对沼气发酵微生物这个核心因素进行说明。一、保持沼气...