红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器,产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议,可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。
红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器,产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议,可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。
激光氨气检测仪AM5302-EK由四方光电自主研发,是基于可调谐半导体激光吸收光谱技术(TDLAS)的高性能光学气体分析仪。窄带激光光谱吸收技术对氨气具有选择性,不受其它气体、水汽、粉尘等干扰,可在恶劣工况及复杂气体环境下稳定工作。系统配备高性能探头与特殊工艺处理气室,在提高检测精度与灵敏度的同时,也保证了性能的稳定性与更长的使用寿命。
低浓度粉尘仪OPC-6510A采用光学散射原理,可精确检测并计算单位体积内空气中不同粒径的悬浮颗粒物的个数,内置四方光电尘源智能识别模块,具有6L/min大流量的气体采样速率,可同时输出0.3μm、0.4μm、0.5μm、0.6μm、0.8μm、1.0μm、1.5μm、2.0μm、2.5μm、5.0μm、8.0μm、10μm十二个通道的颗粒数,PM2.5、PM10质量浓度。
制氧机鼓风机是由四方光电自主研发的一款直流无刷鼓风机,无需外部管道即可改变空气方向,是定点冷却高密度设备的理想选择。DC9733鼓风机采用BLDC电机,选用进口轴承和PBT塑料外壳,具有重量轻、散热快、噪音低和寿命长的优势。
红外粉尘传感器采用光学散射原理,可检测室内空气中粒径在1μm以上颗粒物浓度数值的变化趋势,内置温度补偿功能,确保在不同环境条件下都能保持稳定的测量性能。
可燃气体探测器JT-AM5301-JG是一款安装在厨房等可能发生燃气(CH4)泄漏场所的气体报警器,当空气中的燃气浓度超过设定值时探测器会触发报警功能,并对外发出声光报警信号。若设备连接报警主机和接警中心则可联网报警,同时关闭燃气管道阀门;还可通过手机APP实时监控,在超过报警浓度后APP会及时弹窗报警信息,保障生命和财产安全。