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半导体行业薄膜沉积设备腔室清洁终点检测解决方案

1.腔室清洁终点精确控制的重要性与挑战薄膜沉积(如CVD/ALD)、光刻和刻蚀是半导体制造的三大核心工艺,其中薄膜沉积作为基础环节,负责金属、介质及半导体薄膜的制备。为确保薄膜沉积工艺的稳定性,需定期使用NF₃对腔室进行清洁,以去除积聚的聚合物材料。精确控制清洁终点至关重要:l清洁不足:残留沉积物会形成颗粒污染,导致产品良率下降l过度清洁:增加NF₃消耗、延长设备停机时间并缩短腔室寿命。传统方法依赖经验时间控制清洁终点,但最佳清洁时间受多变量影响(如沉积厚度、温度、压力、气体...

  • 2022

    11-14

    内燃机工业是我国重要基础产业,也是节能减排的重点领域。近年来,我国已经颁布和实施了GB18352.6-2016(轻型车国六)、GB17691-2018(重型车国六)和GB20891-2014的2020年修改单(非道路移动机械国四)等移动源新生产车排放法规以及GB18285-2018(汽油车)、GB3847-2018(柴油车)和GB36886-2018(非道路移动机械)等在用车排放法规。其中带领内燃机行业技术发展的是新生产车排放法规,该法规体系中要求的高精度发动机排放检测设备,...

  • 2022

    11-14

    实现碳达峰碳中和是国家做出的重大战略决策。通过监测数据可以预测未来的气候变化趋势和评价生态系统碳循环对全球变化的响应与适应特征,为“双碳”目标的达成提供参考数据,为现代地球系统科学、生态与环境科学关注的重大科学问题提供研究依据。碳通量在线监测网络主要包含土壤温室气体通量测量和大气环境涡度协方差测量系统两种方法。中国人民银行于9月设立2000亿元以上设备更新改造专项再贷款,旨在贯彻落实国务院常务会议关于支持经济社会发展薄弱领域设备更新改造的决策部署。四方光电股份有限公司(688...

  • 2022

    7-19

    2022年3月5日,第十三届全国人民代表大会第五次会议的政府工作报告中提到:“围绕国家重大战略部署和“十四五”规划,适度超前开展基础设施投资。建设重点水利工程、综合立体交通网、重要能源基地和设施,加快城市燃气管道等管网更新改造,完善防洪排涝设施,继续推进地下综合管廊建设,中央预算内投资安排6400亿元。”燃气安全与人们生产生活息息相关,已成为城市应急管理工作的头等大事。四方光电掌握非分光红外(NDIR)、可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)、电化学等多种核心技术平台及应用,...

  • 2022

    7-19

    近日,由于上海某隔离酒店使用了回风+新风混合进行空气调节,全建筑通风系统仅一个通风道,导致病毒通过空气循环在公共空间内传播,多人交叉感染,引发大家关注。疫情当下,新风系统的运行状态不容忽视,从公共建筑,到家居环境,四方光电用传感守护,让您的一呼一吸更加舒适、健康、智能!室内空气品质大多数人超过90%的时间在室内度过,室内空气品质与人类健康的相关性日益明显。场所内人员的活动造成CO2浓度持续升高,高浓度二氧化碳对人体造成的危害不容小觑。节能降碳绿色发展在“碳达峰”和“碳中和”背...

  • 2022

    7-19

    如果你去买车或者验车,常听到国六标准的说法,汽车销售们还会告诉你尽量要买符合国六B的车型。你可能会好奇:什么是国六A、国六B?国六B又是通过什么样的标准和测试设备检测出来的呢?在国产化替代的今天,有没有国产的测试设备能够支持国六B排放标准的测试呢?本文将带您全面了解,什么是国六?什么样的装备能够全面支持国六B测试?在国六B标准赶超欧6标准的当下,咱国产的测试装备是否也可*替代进口?国六A和国六B国六标准,即“国家第六阶段机动车污染物排放标准”,主要涉及以下四个标准,更严格的国...

  • 2022

    7-19

    根据“2会”期间公布的2020年政府工作报告,今年要实现单位国内生产总值能耗和主要污染物排放量继续下降;深化重点地区大气污染治理攻坚;要打好蓝天、碧水、净土保卫战,实现污染防治攻坚战阶段性目标。2020年是打赢蓝天保卫战、“十三五”规划的全面收官之年,我国大气污染治理进入攻坚“深水期”,剩下的都是难啃的“硬骨头”。作为一直以来的重点和难点,扬尘污染治理已然成为大气污染防治目标完成与否的关键点之一。扬尘治理,需对症下药;而把脉问诊,监测为先。高性能的扬尘传感器对实现扬尘全面监测...

  • 2022

    7-19

    汽车尾气排放分析仪是在汽车发动机正常运转时,对汽车排放的尾气进行检测、分析,从而判断汽车发动机是否工作正常、排出的有害气体是否超出标准的一种仪器。作为机动车尾气检验以及维修机构的核心设备,这种仪器的质量和性能直接影响到对汽车尾气排放超标进行检查的效率和效果。因此,获得具有法定效力的计量认证证书是产品应用于市场的重要前提条件。随着新的汽车尾气排放检测法规《汽油车污染物排放限值及测量方法(双怠速及简易工况法)》GB18285-2018和《柴油车污染物排放限值及测量方法(自由加速法...

  • 2022

    6-24

    前言:随着新能源锂电池、半导体、生物制药、液晶面板等领域的快速发展,对生产环境的洁净度提出了更高的要求,有效控制洁净室空气中的尘埃粒子浓度至关重要。按照国家相关规定,洁净室在设计、建造以及交付运行以后,都需要对其性能和合理性进行综合评价分析。那么,企业为了满足生产条件搭建符合标准要求的洁净室环境,该如何实现对尘埃粒子的监测呢?以往客户仅在项目验收时采用手持式尘埃粒子计数器针对作业厂区内相关区域进行洁净度检测,而工程验收合格投入使用后,则只会定期安排人工进行抽查巡检,这样的做法...

  • 2022

    4-26

    暗藏在湖底的危机图1、非洲卢旺达基伍湖卢旺达的基伍湖风景如画,被誉为“非洲大湖”之一。基伍湖北侧有一座活火山,数千年的火山活动导致甲烷和二氧化碳大量积累溶解在基伍湖深处。科学家认为基伍湖看似平静,却危险重重,大约有3000亿立方米的溶解二氧化碳、600亿立方米的甲烷以及含有有毒的硫化氢潜藏湖底。这些溶解的气体随时可能以湖沼喷发的形式爆炸性地释放,一旦爆发,不仅会释放致命的二氧化碳,还可能引起甲烷爆炸,引发灾害。图2、基伍湖分层深水区示意图湖底甲烷变身可持续能源对周边人口及国家...

  • 2022

    4-20

    一、背景随着我国机动车保有量的增加,大气污染正在向工业燃煤污染与机动车排气污染复合型发展,机动车排气污染对颗粒物和氮氧化物的贡献率较大。特别是柴油货车和非道路机械的排放,对我国环境空气质量的影响日益凸显,成为我国污染治理的重中之重。图1:2018年污染物排放对比图数据来源:《移动源环境管理年报(2019)》为了控制非道路移动机械污染,国家出台了《柴油货车污染治理攻坚战行动计划》,对柴油货车、非道路移动机械的污染防治工作进行了统一的部署和规划。对于柴油货车,明确要求:(1)加大...

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