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半导体行业薄膜沉积设备腔室清洁终点检测解决方案

1.腔室清洁终点精确控制的重要性与挑战薄膜沉积(如CVD/ALD)、光刻和刻蚀是半导体制造的三大核心工艺,其中薄膜沉积作为基础环节,负责金属、介质及半导体薄膜的制备。为确保薄膜沉积工艺的稳定性,需定期使用NF₃对腔室进行清洁,以去除积聚的聚合物材料。精确控制清洁终点至关重要:l清洁不足:残留沉积物会形成颗粒污染,导致产品良率下降l过度清洁:增加NF₃消耗、延长设备停机时间并缩短腔室寿命。传统方法依赖经验时间控制清洁终点,但最佳清洁时间受多变量影响(如沉积厚度、温度、压力、气体...

  • 2022

    4-18

    激光粉尘传感器是利用激光散射原理,对空气中存在的粉尘颗粒物进行探测,具有良好的选择性、稳定性。ZH03激光粉尘传感器模组具有数字输出和模拟输出,方便使用,可广泛应用于便携式仪表、空气质量监测设备、空气净化机、新风换气系统、空调、智能家居设备等场所。激光粉尘传感器的结构和电路相对杂乱。其光源为激光二极管。采样或鼓风机推进,通过杂乱规划的风道,进行检测。当空气中的细颗粒物进入激光束所在区域时,将使激光发作散射;散射光在空间360°都有辐射,咱们在适当位置放置光电探测器,使之只接收...

  • 2022

    4-13

    在第一台激光器诞生60多年后的今天,随着激光光源、探测技术、实验装置和数据处理等各方面技术的飞跃发展,激光光谱技术作为微观感知领域的核心技术,已经成为物理、化学、生物、环境以及天文学等领域中研究光与物质相互作用的重要手段,从实验室基础研究到各领域应用第一线都扮演着重要的角色。拉曼光谱技术早有布局,突破工业过程气体分析技术瓶颈在工业过程气体监测领域,傅里叶红外(FITR)、质谱(MS)、气相色谱(GC)等原理的气体分析仪各有优点。傅里叶红外技术一个气室很难适合不同的量程,也无法...

  • 2022

    4-2

    近日,由于上海某隔离酒店使用了回风+新风混合进行空气调节,全建筑通风系统仅一个通风道,导致病毒通过空气循环在公共空间内传播,多人交叉感染,引发大家关注。疫情当下,新风系统的运行状态不容忽视,从公共建筑,到家居环境,四方光电用传感守护,让您的一呼一吸更加舒适、健康、智能!室内空气品质大多数人超过90%的时间在室内度过,室内空气品质与人类健康的相关性日益明显。场所内人员的活动造成CO2浓度持续升高,高浓度二氧化碳对人体造成的危害不容小觑。节能降碳绿色发展在“碳达峰”和“碳中和”背...

  • 2022

    4-2

    2022年3月5日,第十三届全国人民代表大会第五次会议的政府工作报告中提到:“围绕国家重大战略部署和“十四五”规划,适度超前开展基础设施投资。建设重点水利工程、综合立体交通网、重要能源基地和设施,加快城市燃气管道等管网更新改造,完善防洪排涝设施,继续推进地下综合管廊建设,中央预算内投资安排6400亿元。”燃气安全与人们生产生活息息相关,已成为城市应急管理工作的头等大事。四方光电掌握非分光红外(NDIR)、可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)、电化学等多种核心技术平台及应用,...

  • 2022

    3-11

    如果你去买车或者验车,常听到国六标准的说法,汽车销售们还会告诉你尽量要买符合国六B的车型。你可能会好奇:什么是国六A、国六B?国六B又是通过什么样的标准和测试设备检测出来的呢?在国产化替代的今天,有没有国产的测试设备能够支持国六B排放标准的测试呢?本文将带您全面了解,什么是国六?什么样的装备能够全面支持国六B测试?在国六B标准赶超欧6标准的当下,咱国产的测试装备是否也可*替代进口?国六A和国六B国六标准,即“国家第六阶段机动车污染物排放标准”,主要涉及以下四个标准,史上较严的...

  • 2022

    3-9

    环境污染一直都是大家关注的焦点问题,为了缓解机动车排放带来的大气污染,近年来世界各国都在争相发展新能源汽车。虽然新能源汽车都得到了长足的发展,但是现阶段以汽油、柴油为燃料的内燃机的应用仍然占据主导地位。怎样有效地控制汽车污染,仍然是全球关注且亟待解决的问题。为了给环境保驾护航,全球范围内各项环保法规和标准相继出台。对我国而言,环境保护部、国家质检总局等相关部门也针对发动机排放检测制定了标准,确定了排放限值和检测方法,同时也对相关的仪器技术提出了新的需求。鉴于此,各大仪器厂商在...

  • 2021

    9-7

    随着我国机动车保有量的增加,大气污染正在向工业燃煤污染与机动车排气污染复合型发展,机动车排气污染对颗粒物和氮氧化物的贡献率较大,尤其是非道路移动柴油机械的排放,对我国环境空气质量的影响日益凸显,成为我国污染治理的重中之重。而污染治理,当以检测为先。一、政策标准介绍我国非道路移动柴油机械的排放检测虽起步较晚,但在政策标准的颁布和实施上也形成了体系。生态环境部2018年第34号公告发布《非道路移动机械污染防治技术政策》,各地也纷纷出台机动车和非道路移动柴油机械防治污染条例或办法,...

  • 2021

    8-12

    一、非道路国四排放法规背景及要求HJ1014-2020《非道路柴油移动机械污染物排放控制技术要求》于2020年12月28日发布,要求从2022年12月1日起,所有生产、进口和销售的560KW(含560KW)的非道路移动机械及装用的柴油机,必须符合本标准。标准的发布,为国内非道路机械主机厂设定了闹钟,国四产品的准备正式步入倒计时阶段。该标准是对2014年颁布的GB20891-2014《非道路移动机械用柴油机排气污染物排放限值及测量方法(中国DI三、四阶段)》第四阶段内容的补充。...

  • 2021

    6-8

    肺功能检查仪进行检测校准的必要性慢性呼吸系统疾病排在心脑血管病、癌症之后,成为我国居民慢性病致死的第三位死因。肺功能检查作为慢性气道等呼吸疾病诊断的金标准之一,是慢性阻塞性肺疾病防治和检查的关键。肺功能检查仪是检测肺脏吸入、呼出气体容量和速率,从而了解呼吸生理和呼吸功能是否正常的一种设备,主要由肺量计、气体分析器等部件组成。肺功能检查仪对于早期检出肺及气道的病变,诊断病变部位和评估疾病的严重程度具有重要的临床意义。在钟南山院士、王辰院士等国内专家的推动下,“要像测量血压一样,...

  • 2021

    3-12

    随着我国机动车保有量的增加,大气污染正在向工业燃煤污染与机动车排气污染复合型发展,机动车排气污染对颗粒物和氮氧化物的贡献率较大,尤其是非道路移动柴油机械的排放,对我国环境空气质量的影响日益凸显,成为我国污染治理的重中之重。而污染治理,当以检测为先。一、政策标准介绍我国非道路移动柴油机械的排放检测虽起步较晚,但在政策标准的颁布和实施上也形成了体系。生态环境部2018年第34号公告发布《非道路移动机械污染防治技术政策》,各地也纷纷出台机动车和非道路移动柴油机械防治污染条例或办法,...

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