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半导体行业微量氧分析仪的自主研发与技术创新

一、半导体制造中氧监测的重要性与难点在半导体制造过程中,氧污染会引发不必要的氧化反应,导致集成电路和硅片产生缺陷,进而破坏薄膜结构的完整性,严重影响产品的均匀性与可靠性。因此,半导体制造商必须对工艺气体及设备腔室中的氧含量进行严格监控,即便是微量氧气(低至ppm级)也可能显著损害元件性能。目前,半导体工艺气体中的氧监测主要面临以下技术难点:需实现10ppm以下超低浓度氧的精确检测;需支持真空环境下的持续氧浓度监测;需在还原性气氛中确保设备安全稳定运行。在众多气体检测技术中,氧...

  • 2017

    5-3

    焦炉煤气在进入静电除尘设备之前,需要分析焦炉煤气含氧量,因为静电除尘设备中的焦炉煤气含氧量达到一定程度时会引发爆炸事故,从而损坏设备和造成人身伤害,所以对焦炉煤气中的含氧量分析及监控极为重要。笔者将就在线煤气分析系统在静电除尘工艺中的应用进行探讨。1.煤气静电除尘技术煤气除尘技术在我国已经较为成熟,其方法也多样,本文主要探讨的是煤气静电除尘。其工艺原理为:含有粉尘颗粒的气体,在接有高压直流电源的阴极线(又称电晕极)和接地的阳极板之间所形成的高压电场通过时,由于阴极发生电晕放电...

  • 2017

    4-12

    红外煤气成分分析仪主要应用于工业上对煤气成分进行分析,通过对测量的气体参数变化情况的分析,掌握这些成分的变化规律,从而对于实现生产全程动态控制,无论是理论计算还是现场操作,都具有十分重要的指导意义。该仪器适合氮肥厂、钢铁公司、煤气厂等行业的分析煤气、半水煤气、变换气、原料气中CO2,CnHm,O2,CO,CH4,H2及NOx等成分的分析。目前市场上主要有实验室分析仪和过程分析仪两大类分析仪器,现就适合于煤气成分分析的仪器简单介绍一下。一、常用实验室分析仪器1.奥氏气体分析仪作...

  • 2017

    4-11

    作为一种能源和化工原料,天然气计量的重要性不言而喻。本文探讨了超声气体流量计Gasboard-7200在贸易计量中的应用。??超声波流量计的工作原理Gasboard-7200系列超声气体流量计采用行业先进的超声波气体传感技术,其工作原理是通过测量超声波脉冲顺流和逆流传播时传播速度不同引起的时差来计算被测流体速度,该原理又称为“时差法”。超声波频率高,波长短,衍射不严重,具有良好的定向性且穿透能力强。探头1发射信号,信号穿过管壁1、流体、管壁2后被另一侧的探头2接收到;在探头1...

  • 2017

    4-10

    因入炉煤气资源丰富,且属于可被循环利用的废气,故煤气是气烧石灰窑的燃料,如高炉煤气、转炉煤气、焦炉煤气、电石尾气(煤气)、发生炉煤气等。由于气烧石灰窑的煅烧温度,关系到石灰质量,煅烧温度又与入炉煤气的热值直接相关,同时入炉煤气热值高、火焰短等因素易造成石灰窑的过烧或生烧现象,所以必须对入炉煤气的热值进行分析,以便现场工作人员根据实际工况调节窑内煅烧温度,提高气烧石灰窑的生产效率与企业经济效益。煤气分析仪(在线型)Gasboard-3100煤气中贡献热值的气体有CO、CH4、C...

  • 2017

    4-7

    煤气作为钢铁、有色、化工、新能源等工业领域重要的能源载体,为了有效、安全、合理地利用,其成分、热值及氧含量等各种参数监测具有至关重要的意义。下文将与大家分享云南一化工企业高炉煤气在线监测项目,阐述其气体分析技术方案及其对企业的价值。方案概述在企业生产过程中,科学利用发生炉煤气,可助推集团实现提产增效,在节能降耗上能创造良好的经济效益和社会效益。该企业使用的在线气体分析系统Gasboard-9021是专门针对发生炉煤气含尘、含湿、含焦油的特定工况而设计的,由预处理单元、控制单元...

  • 2017

    4-6

    随着我国沼气事业的蓬勃发展,产品智能化、使用方便化、检测科技化成为户用沼气及配套产品的发展趋势。为了便于诊断沼气池启动、维护和维修中遇到的问题,小编在此介绍一些沼气分析仪使用和维护的常见问题和解决方法,希望能帮助技术员们更好的掌握和使用。检测原理目前应用较多的为红外检测方法。沼气中CH4和CO2对红外光吸收光谱中主要吸收峰波长为3.4μm和4.26μm,根据该波长被吸收光的强度计算出气体中CH4和CO2浓度。使用及维护方法为了保证检测数据的准确性,携带的便携式分析仪应轻置轻放...

  • 2017

    2-27

    我国是以煤炭为主要一次能源的国家,一次能源消费中煤炭的占比达到62%。但我国的煤炭利用技术总体上是落后的,在煤炭的转化利用过程中普遍存在效率低、污染严重等问题。随着能源问题的日益突出,洁净煤技术越来越多地应用于实际生产过程中,其中大规模煤气化、煤气化多联产技术成为了煤炭综合应用的主要方向之一。近年来红外煤气分析仪越来越多地应用于实际煤气化煤气分析当中,本文将结合Gasboard-3100在不同领域的实际应用,帮助大家更好的了解煤气分析仪在煤气化行业应用优势。煤气分析仪(在线型...

  • 2017

    2-27

    随着燃气输气管道的兴建与普及,燃气表如雨后春笋般涌现,从机械式到电子式,从膜式到超声波,新概念新技术的不断涌现,各种流量计的准确度及使用范围也在不断提高。目前市场上主流的燃气表有两种,一种为传统式的机械式膜式燃气表,一种为电子式膜式燃气表,而超声波燃气表正以强劲的势头在燃气表市场中崭露头角。一、机械式膜式燃气表机械式膜式燃气表,是通过机械滚轮实现的,机械滚轮根据使用的气量进行加操纵,每使用一个单位,滚轮技术加一,实现气量计量记录。膜式燃气表工作原理机械式膜式燃气表的优点是技术...

  • 2017

    2-16

    磨煤机是火力发电厂燃煤机组制粉系统的主要辅助设备,是将原煤磨碎至满足锅炉悬浮燃烧细度的动力机械。磨煤机在运行过程中,煤与空气接触被氧化形成CO气体和碳,同时摩擦产生的热量将首先引起煤粉的不*燃烧,从而产生大量的CO气体。CO气体浓度在磨煤机内部有限空间的增加,降低了磨煤机内可燃混合物的着火点,增加了磨煤机着火或爆炸的危险性。通过在线检测CO气体的浓度,可以检测到煤粉着火(阴燃、冒烟)发生前的征兆。在磨煤机内部CO气体的分布是均匀的,而温度的分布是不均匀的,CO气体的浓度变化比...

  • 2016

    12-23

    煤的气化是我国煤化工工业的重要组成部分,特别是在石油资源日益紧张的条件下显得更加重要。煤气成分的检测分析是气化炉优化控制的前提,也是煤化工行业其他工序的重要参数。此外,高炉、转炉,焦炉以及玻璃,陶瓷等工业领域也经常需要进行煤气成分的检测。本文将详细介绍一种采用新型的电调制多组分红外气体分析方法,配合发展的MEMS技术热导TCD气体传感器以及长寿命电化学O2、H2S传感器开发的集成化多组分煤气分析仪Gasboard-3100的技术应用。希望对你从事煤气成分检测有所裨益。1.红外...

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