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半导体行业微量氧分析仪的自主研发与技术创新

一、半导体制造中氧监测的重要性与难点在半导体制造过程中,氧污染会引发不必要的氧化反应,导致集成电路和硅片产生缺陷,进而破坏薄膜结构的完整性,严重影响产品的均匀性与可靠性。因此,半导体制造商必须对工艺气体及设备腔室中的氧含量进行严格监控,即便是微量氧气(低至ppm级)也可能显著损害元件性能。目前,半导体工艺气体中的氧监测主要面临以下技术难点:需实现10ppm以下超低浓度氧的精确检测;需支持真空环境下的持续氧浓度监测;需在还原性气氛中确保设备安全稳定运行。在众多气体检测技术中,氧...

  • 2017

    7-7

    从20世纪80年代以来,国内工程公司、研究院、设计院和高等院校等通过对引进国外煤气化技术的消化、吸收和工程实践,进行了一系列的自主创新,开发出多达十几种具有自主知识产权的先进洁净煤气化技术,其中除碎煤加压气化、YM炉是固定床气化技术,ICC灰熔聚气化是流化床气化技术之外,其余均为气流床加压气化技术。关于“中国制造”煤气化技术(含在建)及工艺锐意自控汇总如下:我国自主开发并工业化应用(含在建)的洁净煤气化技术国内自主开发煤气化技术的工艺比较国内自主开发的气流床气化技术除上述7种...

  • 2017

    6-22

    沼气是有机物在厌氧和一定的温度、湿度、酸碱度和密封等条件下,经过多种微生物分解发酵产生的一种可燃气体。它是一种混合气体,主要成分是甲烷和二氧化碳,其余为一氧化碳、氢气、氮气和硫化氢。在沼气工程运行过程中,一般通过进出料COD、产气量、pH、脂肪酸等几项工艺运行参数,可以推测发酵装置内微生物生长代谢情况,从而将运行工况调整到*状态。因此,宜对温度、产气量、COD、pH、挥发酸、总碱度和沼气成分等指标进行监测,掌握沼气发酵装置运行工况,并根据监测数据及时调整或采取相应措施。如果出...

  • 2017

    6-22

    工业仪表的腐蚀严重影响其自身的正常运行,给化工企业生产运作带来了众多不便。本文提出的建议希望能帮助化工企业更好的解决化工仪表的腐蚀问题。一、化工仪表的主要腐蚀类型1.电化学腐蚀电化学腐蚀是指金属材料与电解质溶液结合时,发生原电池反应,比较活泼的金属失去电子而被氧化。大多数金属的破坏都是由电化学腐蚀造成的,比如钢铁在潮湿的空气中比在干燥的空气中腐蚀的快,因为潮湿的空气在钢铁表面形成了电解质溶液,它跟钢铁里的铁和碳形成了原电池,铁失去了电子就被氧化了。电化学腐蚀是化工生产中zui...

  • 2017

    6-22

    “十三五”开局以来,国内逐步开始了燃煤电厂超低排放改造的战略布局,随着超低排放改造的实施,烟气水分含量增大,烟气特性发生了较大改变,对烟气成分监测的性提出了更高要求。因此,分析对比各种烟气监测技术的性能特点与实用价值,提出适用于超低排放改造的在线烟气成分监测技术,为燃煤电厂烟气监测系统的选型提供参考,对“十三五”燃煤电厂超低排放改造具有重要的指导意义。据《煤电节能减排升级与改造行动计划(2014-2020年)》改造后烟气中二氧化硫、氮氧化物排放的限值执行标准分别为35mg/m...

  • 2017

    6-2

    干式发酵是指以有机废弃物为原料(干物质浓度在25%以上),利用水解产酸菌、产氢产乙酸菌和产甲烷菌将其分解为CH4、CO2、H2S等气体的发酵工艺。由于固体浓度太高难以采用连续投料或半投料的投料方式,绝大数均采用批量投料。红外沼气分析仪Gasboard-3200系列。一、干式厌氧发酵技术的应用范围1.城市生活垃圾组成:食物残渣,废纸,玻璃、陶瓷、塑料、金属制品等废物,煤灰渣及粪便等。特性:组分复杂且随季节、场合而异;食品残渣的比例需达到60%以上,尚未实现分类收集,用于堆肥时需...

  • 2017

    6-2

    国内外对焦炉煤气的脱硫工艺分为正压脱硫和负压脱硫二种。某公司焦炉煤气净化一开始采用HPF正压脱硫工艺,但脱硫效率低,且正压脱硫需将煤气冷却,送入脱硫塔进行脱硫、脱氰,经过脱硫后,煤气进入硫铵单元,又需对煤气进行预热,煤气经过冷却、预热存在较大的能源浪费,不利于节能降耗生产,对此该公司将正压脱硫工艺改为负压脱硫工艺,采用红外气体分析仪(防爆型)Gasboard-3500对脱硫效果进行监测,项目运行3年来,脱硫效率提高,节能*,具有良好的经济效益和环保效益。一、正、负压脱硫工艺对...

  • 2017

    5-10

    VOCs(volatileorganiccompounds)即挥发性有机物,是一类化学质的统称,在常温压下通具有高蒸汽。我国现标准中VOCs是指20℃条件下蒸汽压大于等于0.01kPa,或在特定适用条件下具有挥发性的全部机化,或在特定适用条件下具有挥发性的全部机化合物的统称。VOCs组成复杂,主要包括烷烃、烯烃、芳香烃、卤代烃、含氧烃、氮烃、硫烃、低沸点多环芳烃等。其中常见的VOCs种类有甲苯(TolueneToluene)、二甲苯(Xylene)、对-二氯苯(Para-di...

  • 2017

    5-9

    项目概述针对焦化生产流程污染严重、影响环境保护问题,某钢铁公司焦化生产线采用目前焦化产业先进的干熄焦技术装备工艺流程,以达到、节能、低耗、环保的目的。该钢铁干熄焦项目采用干熄焦气体循环分析系统对用户现场干熄炉及循环气体系统中产生的气体组分进行分析。系统由预处理单元、控制单元、分析单元三个部分构成,采用PLC程序控制,自动完成采样、反吹、排冷凝水等操作,实现24小时无人值守的情况下实时在线监测工业过程气体,大大减少了人工负荷,保证系统长期稳定、准确、连续自动在线运行。一级除尘二...

  • 2017

    5-8

    本文简述了天然气能量计量的基本原理,同时介绍了两种不同原理的天然气热值测定方法,并对其进行了分析比较。GB12206-90给出了我国城市燃气热值的定义:每标准立方米(0℃,101.3KPa)干燃气*燃烧时产生的热量。当此热量包括烟气中水蒸气凝结而散发的热量时,称为高位热值,反之称为低位热值。纵观近年来的发展情况,我国天然气能量计量工业历经多年积累,不断取得进步,并逐渐与接轨,对整个天然气产业的发展做出了不小的贡献。笔者将介绍两种天然气热值的测定方法:一种为使用热量计直接燃烧测...

  • 2017

    5-4

    一、沼气产量计算理论计算公式:沼气产量=废水浓度(kgCOD/m3)×设备去除率(%)×废水日排放量(m3/d)×产沼气率其中,产沼气率为0.7m3/kgCOD(理论值)沼气产量计算还有如下方式:1、按养殖规模计算,一般估算为:5头猪、1头牛、150只鸡的粪便可产1m3沼气。2、按照池容计算。如6m3、8m3、10m3沼气池容积可分别产沼气1.2m3、1.6m3、2m33、按照池中的干物质计算,如每公斤猪粪(干物质)产气量为0.43m3/kg。4、按照去除的污染物计算,如每去...

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