氧分析仪

简要描述：氧分析仪Gasboard-3053搭载高稳定性的氧化锆核心传感器，覆盖25%富氧至1ppm微量氧的全范围测量。具有测量精度高、响应时间快、稳定性好等特点，可应用于半导体制造、空气分离、惰性气体焊接等领域，为关键的过程控制应用程序提供可靠的性能。产品采用紧凑型模块化设计，体积小巧，便于在复杂⼯况下安装，同时配备直观丰富的用户界面，提供人机交互体验。

产品型号：Gasboard-3053
厂商性质：生产厂家
更新日期：2025-10-11
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半导体行业气体分析仪

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详细介绍

产品名称：氧分析仪

产品型号：Gasboard-3053

产品概述

氧分析仪Gasboard-3053搭载高稳定性的氧化锆核心传感器，覆盖25%富氧至1ppm微量氧的全范围测量。具有测量精度高、响应时间快、稳定性好等特点，可应用于半导体制造、空气分离、惰性气体焊接等领域，为关键的过程控制应用程序提供可靠的性能。产品采用紧凑型模块化设计，体积小巧，便于在复杂⼯况下安装，同时配备直观丰富的用户界面，提供人机交互体验。

产品特性

测量精度⾼，ppm级别测量

响应速度快，秒级出数

即插即⽤⼀体化设计

内置采样泵与过滤系统，安装维护便捷

本地化端到端服务保障

应用领域

半导体、LED等⽣产过程中氧浓度控制、惰性保护⽓体⽣产及焊接⼯艺中氧浓度监测、空⽓分离加⼯⼯艺中氧浓度测定、真空⼿套箱系统中氧含量的监控

技术参数

微量-常量氧分析仪
功能性能需求	检测气体	O2
	量程范围	0~10~100~1000ppm，0~25%，自动切换
	检出限	0.5ppm
	分辨率	0.1ppm
	准确度/示值误差/精度（ppm=氧分压/当前⼯作总压）	≤±2%F.S. 或 ±0.5ppm 以较大值为准
	响应时间	T90≤10s
	预热时间	≤20min
	零点漂移	±0.5%F.S.
	量程漂移	±0.5%F.S.
	重复性	±0.5%F.S.
电气结构	通讯协议	RS-232，RS-485
	气路接口	进气/出气 1/4''VCR-F
	结构形式	一体式
	结构尺寸（LWD）	210134300mm
环境要求	传感器（RSM）工作温湿度	温度：0~50℃；湿度：0~95%RH，非冷凝
环境要求	采样流量	0.5~1L/min传感器内设控流组件

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