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一、半导体制造中氧监测的重要性与难点在半导体制造过程中,氧污染会引发不必要的氧化反应,导致集成电路和硅片产生缺陷,进而破坏薄膜结构的完整性,严重影响产品的均匀性与可靠性。因此,半导体制造商必须对工艺气体及设备腔室中的氧含量进行严格监控,即便是微量氧气(低至ppm级)也可能显著损害元件性能。目前,半导体工艺气体中的氧监测主要面临以下技术难点:需实现10ppm以下超低浓度氧的精确检测;需支持真空环境下的持续氧浓度监测;需在还原性气氛中确保设备安全稳定运行。在众多气体检测技术中,氧...
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行业概述化工行业作为国家经济的重要支柱,涵盖了天然气化工、石油化工和煤化工等多个领域。据中国石油和化学工业联合会最新数据显示,2024年上半年,化工行业营业收入达到8万亿元,同比增长5.1%,而利润总额为4294.7亿元,同比下降1.6%。尽管营业收入有所增长,但利润的下降反映出行业整体盈利能力有所减弱。因此,提质增效成为化工行业提升经济效益的关键所在。近年来,国家发改委、工信部等相关部门制定了一系列与化工行业创新发展、绿色低碳转型、节能降碳、安全生产等密切相关的重要文件和产...
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随着环保意识的增强和排放标准的提高,对工业排放烟气的连续监测变得越来越重要。烟气排放连续监测系统(CEMS)作为评估排放水平的关键技术,其精确性和可靠性直接影响到政府环保决策和企业运营。在众多CEMS技术中,热湿法和冷干法是两种主流的烟气采样和分析方法。本文将对这两种技术进行比较分析。Ø热湿法CEMS热湿法CEMS是一种在烟气分析过程中保持烟气样本原始温度和湿度状态的技术,从而直接测量含水蒸气的烟气中的污染物浓度。与冷干法通过冷却和干燥烟气样本以去除水分不同,热湿法允许烟气保...
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快速在线多组分气体检测技术对各种工业过程控制至关重要。传统的多组分气体分析技术包括气相色谱法、质谱法和红外吸收光谱法。气相色谱仪的检测速度太慢,质谱仪过于精密且十分昂贵,红外吸收光谱分析仪的可测量气体种类非常有限,这三种传统检测设备均存在明显缺陷,难以满足工业过程控制的实际应用需求。因此,在工业过程控制领域,迫切需要发展更加适用的多组分气体检测技术。四方光电(武汉)仪器有限公司(以下简称“四方仪器”)自主研发的新一代产品LRGA-3200EX原位激光拉曼光谱气体分析仪,具有测...
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一、概述统一规范的碳排放核算体系是推进“双碳"工作的关键基石,不论是碳市场配额交易及清缴、自愿减排市场的减排量认定,还是碳减排金融支持工具、环境信息披露中的碳排放情况,都必须以碳排放统计核算工作为基础。否则,所有的碳减排政策工具效果都将大打折扣。碳排放自动监测系统(CEMS)是一种用于实时监测和自动核算碳排放量的技术系统,能够通过连续监测烟气中的CO2、CH4、N2O等浓度和流速来计算碳排放量。与传统的核算法相比,CEMS实测法具有更高的测量精度和实时性,有助于更准确地掌握企...
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一、概述2024年9月9日,生态环境部办公厅发布关于公开征求《全国碳排放权交易市场覆盖水泥、钢铁、电解铝行业工作方案(征求意见稿)》意见的函,水泥、电解铝、钢铁三大行业将优先纳入全国碳交易市场,参与线上交易的企业将越来越来重视碳排放量的核算工作。对于许多CO2年排放量达几百万吨的大型企业来讲,假设核算排放量数据差异为1%,按2023年全年碳均价68.15元/吨来算,将涉及百万元的碳交易配额。目前,国际社会广泛使用的碳排放量化方法主要分为基于核算的方法和实测法。基于核算的方法是...
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SCR(选择性催化还原)方法是目前火电、水泥、钢铁、焦化等企业脱硝的一种方法,在一定温度(290~430℃)及催化剂的作用下,NOx和氨(NH3)反应将NOx转化为氨气(N2)和水(H2O)以减少NOx排放。通常,NH3和NOx之间的反应效率可大于95%未反应的NH3则被称为氨逃逸。氨逃逸不仅影响生产效率,更对环境和人体健康构成潜在威胁。本文将从氨逃逸的影响、所涉及的重点行业与常见逃逸部位、氨逃逸监测技术等方面对相关知识作出分享,感兴趣的小伙伴们一起来看看吧~一、氨逃逸的影响...
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近日,中国内燃机工业协会(以下简称“协会”)发布了《中国内燃机工业发展报告(2024版)》(以下简称《发展报告》)。这是自2010年起,协会连续第15年客观记录中国内燃机工业的发展现状,并预测未来发展趋势。四方光电(武汉)仪器有限公司(以下简称“四方仪器”),屹立于内燃机测试设备行业前沿,受到了《发展报告》的特别关注和报道。与往年相比,2024版的《发展报告》更加强调节能减排、循环经济、燃料多样性和严格执行排放标准的重要性,突出了行业发展的重点方向。报告全面分析了2023-2...
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我国是全球机动车产销第一大国,移动源污染已成为空气污染的重要来源,是造成我国大中城市细颗粒物污染的重要原因。因此,解决机动车排放问题是实现“美丽中国”空气质量改善目标、保护人群健康及提升最普惠的民生福祉的关键。排放标准升级是机动车污染减排的主要驱动力。2024年6月欧盟正式发布的欧7标准代表了当前的机动车排放标准,该标准不仅升级了尾气排放的污染物检测项目与限值(如表1和表2),还新提出了制动系统和轮胎颗粒物排放检测要求(如表3)。我国生态环境部2020年10月牵头开启国七排放...
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一、概述碳计量仪器是开展碳排放监测的硬件基础,加强碳计量仪器的研制和推广应用,有助于提高我国实现“双碳”目标的自主保障能力,提升我国在全球碳计量领域的地位。目前,我国碳计量仪器研制尚处于起步阶段,碳计量仪器长期依赖进口,各类高准确度仪器尤其是碳计量仪器需求不断增加,亟需加快仪器研发进度,加力支持碳计量仪器研发应用,着力补齐短板,提高我自主保障能力和国际市场竞争力。为提高我国碳计量仪器装备水平,国家发展改革委、市场监管总局、生态环境部近日联合印发《关于进一步强化碳达峰碳中和标准...
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随着国际海事组织“IMO2020限硫令”的发布,废气中SO2、CO2等组分排放浓度的测定成了判断船舶排放是否合格的依据,安装船舶废气清洗系统(脱硫塔)成了很多大型远洋船舶的选择。早在2015年7月,欧盟委员会就正式提出了航运温室气体排放“监控、报告、验证”(MRV)法规,明确要求停靠欧盟港口的5000总吨及以上的所有船舶(军船、渔船、非机动船等特殊船除外)的船公司/船东需持有由第三方机构验证过的CO2监控计划和排放报告符合文件,且要接受港口国相关主管机关的检查和审查。2023...